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电子特种气体管道系统的配置规范及要求

2022-06-14 16:12:32

  电子特种气体管道系统非常讲究安全,对设备配置有很多规范,在操作设计上也有很多的要求,这里主要介绍下电子特种气体管道系统的配置规范及要求。



  特种气体输送系统概述


  在现代半导体、科研实验室、综合厂房的集中供气系统中,气瓶柜、气瓶架已经成为钢瓶气体的标配,那么这些GR、GC的配置有什么要求呢?相信很多业主和用户并没有一个清晰的概念,只有了解了规范化的要求,才能在厂房、实验室的建设中合理规划布局、安全使用。


  特种气体输送系统设备配置规范


  1、GC、GR可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气、双工艺气瓶内置吹扫氮气等多种结构配置。


  2、GC、GR应设置作业用气体面板。


  3、系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实。


  4、气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压,柜内的排风换气次数不得低于300次/H。


  5、GC板材厚度不得低于2.5mm,并有放腐蚀涂层。


  6、GC门应具备自动关闭功能,并配备防爆玻璃观察窗,地脚螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。


  特气系统安全要求:


  1、不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。


  2、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄露侦测器。


  3、GC、GR应设置清晰明确的安全标识牌


  以上就是银河app娱乐官网为大家讲解的电子特种气体管道系统的配置规范及要求了,希望可以帮助大家!